تعد تقنية تعدين الركيزة من نيتريد السيليكون تقنية متقدمة، وتقنيتها الأساسية هي تحقيق الترابط الصلب للطبقات المعدنية بدقة على سطح الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون. من خلال هذه التقنية، يتم منح الركيزة الخزفية خصائص معدنية مثل التوصيل الكهربائي والحراري، مما يوسع نطاق تطبيقها بشكل كبير.
في مجال التغليف الإلكتروني، يؤدي تطبيق تقنية تعدين الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون إلى تحسين موثوقية هياكل التغليف بشكل كبير وتقليل خطر الفشل الناجم عن الإجهاد الحراري أثناء تشغيل المعدات الإلكترونية. وفي مجال الدوائر المتكاملة، تعمل التقنية على تحسين أداء الاتصال بين الشريحة والركيزة بشكل فعال، وتوفر دعمًا قويًا لتحسين أداء واستقرار الدوائر المتكاملة. في مجال أجهزة الميكروويف، تضمن تقنية تعدين الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون التشغيل الموثوق لأجهزة الميكروويف ذات الطاقة العالية والتردد العالي بفضل التوصيل الحراري والثبات الممتازين.
الطريقة التقنية لتمعدن الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون
طريقة الإطلاق المشترك هي طريقة لدمج المكونات السلبية مثل خطوط الإشارة والأسلاك الدقيقة في الركيزة باستخدام تقنية الأفلام السميكة. تنقسم هذه الطريقة بشكل أساسي إلى نوعين من الحرق المشترك بدرجة حرارة عالية وحرق مشترك بدرجة حرارة منخفضة، وتدفق العملية هو نفسه بشكل أساسي، ولكن درجة حرارة التلبيد مختلفة. وتتمثل ميزة طريقة إطلاق النار المشترك في أنها يمكن أن تلبي العديد من متطلبات الدوائر المتكاملة، ولكن قد تكون هناك بعض المشكلات مثل محاذاة الرسم البياني غير الدقيقة في عملية التصفيح.
طريقة الأغشية الرقيقة هي طريقة لدمج مادة الفيلم وسطح السيراميك عن طريق طرق الطلاء الفراغي مثل التبخر الفراغي، والطلاء الأيوني، والطلاء بالرش. في عملية المعدنة، من الضروري التأكد من أن معامل التمدد الحراري للفيلم المعدني والركيزة الخزفية متسق لتحسين الالتصاق. تتمثل مزايا طريقة الأغشية الرقيقة في طبقة معدنية متجانسة وقوة ربط عالية.
العوامل الرئيسية في عملية تعدين الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون
في عملية المعدنة، يعد التحكم الدقيق في درجة الحرارة بلا شك جزءًا حاسمًا. تتأثر جودة الترابط وخصائص الطبقة المعدنية والركيزة الخزفية بشكل مباشر بتقلبات درجات الحرارة. قد تؤدي درجة الحرارة المفرطة إلى ذوبان مفرط للطبقة المعدنية، وتقليل ثباتها الهيكلي، بل وتؤدي إلى تلف حراري للركيزة الخزفية. ومع ذلك، قد تؤدي درجة الحرارة المنخفضة جدًا إلى عدم كفاية الترابط بين الطبقة المعدنية والركيزة الخزفية، مما سيؤثر على أدائها العام.
يؤثر اختيار اللحام أيضًا بشكل حاسم على جودة المعدنة. يجب أن يكون تكوين اللحام غنيًا بالعناصر النشطة لضمان رابطة قوية مع الركيزة الخزفية أثناء عملية التلبيد. تعد قابلية بلل اللحام أيضًا مؤشرًا مهمًا لتقييم أدائه. تساعد قابلية البلل الجيدة اللحام على تشكيل توزيع موحد بين الطبقة المعدنية والركيزة الخزفية، وبالتالي تحسين تأثير المعدنة. في عملية تعدين الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون، تشمل المعادن شائعة الاستخدام النحاس والفضة وما إلى ذلك. يجب أن تتمتع هذه المعادن بموصلية كهربائية جيدة وموصلية حرارية ومقاومة للتآكل لضمان أداء جيد للركيزة المعدنية.
يعد التحكم في الضغط في عملية المعدنة أيضًا عاملاً لا يمكن تجاهله. في عملية اللحام، يساهم الضغط المناسب في الرابطة المحكمة بين الطبقة المعدنية والركيزة الخزفية، ويحسن قوة الرابطة. ومع ذلك، يمكن أن يؤدي الضغط المفرط إلى كسر أو تشوه الركيزة الخزفية، لذلك يلزم التحكم الدقيق في ضغط اللحام.
مع التطور السريع للتكنولوجيا الإلكترونية، تتحسن أيضًا تكنولوجيا تعدين الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون. في الوقت الحاضر، تمكنت التكنولوجيا من تحقيق جودة تعدين عالية، مما يجعل الركيزة الخزفية تحافظ على أدائها الأصلي الممتاز مع التوصيل الكهربائي والحراري الجيد للمعدن. في المستقبل، مع التعميق المستمر للبحث والابتكار المستمر للتكنولوجيا، ستلعب تكنولوجيا تعدين الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون دورًا أكثر أهمية في تصنيع المعدات الإلكترونية، وستقدم مساهمات أكبر لتحسين أداء واستقرار وموثوقية المعدات.
