1. الركيزة السيراميكية

تتمتع الألومينا ونيتريد السيليكون ونيتريد الألومنيوم وسيراميك كربيد السيليكون بموصلية حرارية جيدة ودرجة حرارة عالية ومقاومة للتآكل، ويمكن استخدامها لإنتاج ركائز للمكونات الإلكترونية والدوائر المتكاملة؛

2. صينية ويفر سيراميك

يتميز سيراميك الألومينا وكربيد السيليكون بمقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل، ويمكن استخدامهما لإنتاج صينية لحمل الرقاقة لمختلف العمليات، مثل RTA (التليين الحراري السريع)، وPVD (البخار المادي) الترسيب)، ICP (البلازما المقترنة حثيًا)، CMP (التلميع الميكانيكي الكيميائي)، للحصول على تأثير معالجة جيد وكفاءة عالية؛

3. تشاك فراغ السيراميك

يتميز سيراميك الألومينا وكربيد السيليكون بسطح تشطيب جيد، مع قوة امتصاص قوية عند تطبيق ضخ الهواء، كما أن ظرف فراغ سيراميك يتمتع بمقاومة درجات الحرارة العالية، ويستخدم على نطاق واسع لامتصاص الرقاقة ونقلها أثناء عملية الإنتاج ;

4. قارب الويفر وقوس القارب

يتمتع كربيد السيليكون والكوارتز بمقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل الجيدة، كما أن الكثافة منخفضة والوزن خفيف، وهما مناسبان لإنتاج قارب الويفر وقوس القارب، لحمل الرقاقة معالجة الانتشار والأكسدة في فرن الانتشار.

5. أنبوب فرن الانتشار

يتمتع أنبوب الكوارتز بمقاومة درجات الحرارة العالية واستقرار حراري ممتاز، ويمكن استخدامه لأنبوب فرن الانتشار ، لعملية الانتشار والأكسدة لرقاقة ويفر أشباه الموصلات.