مدونة

يعد تصنيع أشباه الموصلات حجر الزاوية في تطور العلوم والتكنولوجيا الحديثة، مع سعي الصناعة المستمر إلى إنشاء دوائر متكاملة أصغر وأسرع وأكثر كفاءة، كما تتزايد الدقة والتعقيد الفني لعملية التصنيع، وكل خطوة لا يمكن فصلها عن الأداء العالي ، معدات أشباه الموصلات عالية الجودة وعالية الدقة. باعتباره مادة سيراميك هيكلية ذات أداء ممتاز، فإن كربيد السيليكون (SiC) يتميز بخصائص الكثافة العالية، الموصلية الحرارية العالية، قوة الانحناء العالية، معامل المرونة العالي، المقاومة القوية للتآكل، مقاومة درجات الحرارة العالية، إلخ. ليس من السهل إنتاج الانحناء تشوه الإجهاد والإجهاد الحراري، ويمكن أن يتكيف مع التآكل القوي وبيئة التفاعل ذات درجة الحرارة العالية جدًا لطبقة الرقاقة والحفر وروابط التصنيع الأخرى. ولذلك، فقد تم استخدامه على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات مثل الطحن والتلميع، والمعالجة الحرارية الفوقي / الأكسدة / الانتشار، والطباعة الحجرية، والترسيب، والحفر، وزرع الأيونات.

لا يمكن فصل تصنيع الرقائق عن عمليات الأكسدة والانتشار والتليين والسبائك وغيرها من عمليات المعالجة الحرارية، وتحتوي معدات أشباه الموصلات المستخدمة في عملية المعالجة الحرارية على أفران الأكسدة (التي تنقسم إلى أفران أفقية وأفران رأسية)، والمعالجة الحرارية السريعة (RTP، RapidThermalProcessing) ) معدات. ونظرًا لارتفاع درجة حرارة التشغيل، فإن متطلبات أداء المكونات الموجودة في غرفة التفاعل مرتفعة أيضًا. تتميز أجزاء كربيد السيليكون الملبدة عالية النقاء بخصائص القوة العالية، والصلابة العالية، ومعامل المرونة العالي، والصلابة النوعية العالية، والموصلية الحرارية العالية، ومعامل التمدد الحراري المنخفض، وما إلى ذلك، وهي أجزاء لا غنى عنها في غرفة التفاعل للمعالجة الحرارية للدائرة المتكاملة معدات. وهي تشمل بشكل أساسي القارب العمودي والقاعدة والأنابيب الداخلية والألواح  العازلة للحرارة.

في الوقت الحاضر، تهيمن الشركات الأجنبية مثل مجموعة Kyokera اليابانية وQuastai الأمريكية على معظم الحصة السوقية لسوق كربيد السيليكون الملبد عالي النقاء لمعدات أشباه الموصلات. من خلال التراكم التكنولوجي والابتكار على المدى الطويل، قاموا بتطوير ليس فقط مجموعة كاملة من المنتجات، ولكن أيضًا تكنولوجيا معالجة خصائص المواد والدقة والبنية المعقدة وصلت إلى المستوى الرائد في الصناعة. يمكن أن توفر مكونات خاصة للمعدات الأساسية للدوائر المتكاملة مثل آلة الطباعة الحجرية الضوئية، معدات حفر البلازما، معدات ترسيب الأفلام ومعدات زرع الأيونات.