مع التطور السريع لتكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة، أصبحت متطلبات مواد التغليف الإلكترونية صارمة بشكل متزايد. أصبح سيراميك نيتريد الألومنيوم، مع موصليته الحرارية الممتازة، وخصائصه الميكانيكية الممتازة، ومقاومته للتآكل، وخصائصه الكهربائية الممتازة، رائدًا في مجال تبريد الدوائر المتكاملة ومواد التعبئة والتغليف على نطاق واسع. ومع ذلك، فإن الصلابة العالية والهشاشة العالية وصلابة الكسر المنخفضة لسيراميك نيتريد الألومنيوم تشبه فجوة لا يمكن التغلب عليها، مما يشكل تحديًا كبيرًا لتطبيقه في مجال الآلات فائقة الدقة. خاصة في السعي للحصول على سطح فائق النعومة مع خشونة السطح Ra ≥ 8 نانومتر أو حتى RMS < 2 نانومتر، أصبحت كيفية تقليل عيوب السطح والأضرار تحت السطح بشكل فعال أثناء التشغيل الآلي مشكلة رئيسية تقيد التطبيق الواسع لسيراميك نيتريد الألومنيوم. وفي هذا السياق، تقدم عملية الطحن ELID (التضميد أثناء المعالجة كهربائيًا) حلولاً مبتكرة لتحديات المعالجة التي تواجه ركائز AlN بمزاياها الفريدة.

تقنية الطحن ELID هي تقنية معالجة مرآة مركبة تدمج الطحن والطحن والتلميع التقليدي. يتمثل جوهر تقنية الطحن ELID في تحقيق الشحذ الذاتي الديناميكي أثناء الطحن من خلال تلبيس عجلات الطحن كهربائيًا في الموقع، وبالتالي تحسين كفاءة الطحن وجودة المعالجة بشكل كبير. تُظهر تقنية الطحن ELID قابلية تطبيق استثنائية للمواد الهشة عالية الصلابة مثل سيراميك نيتريد الألومنيوم.

أولاً، يستخدم طحن ELID محلول إلكتروليت ضعيف كسائل الطحن، والذي لا يتجنب فقط التآكل المحتمل لسائل الطحن التقليدي على أداة الماكينة وقطعة العمل، ولكنه يبسط أيضًا بيئة المعالجة ويقلل من تكلفة الإنتاج. والأهم من ذلك، يمكن لهذه التقنية التحكم بشكل فعال في درجة الحرارة أثناء الطحن، مما يقلل من حروق قطعة العمل والضغوط المتبقية والشقوق الناجمة عن درجات الحرارة المرتفعة، وهو أمر ضروري لحماية البنية الدقيقة وخصائص سيراميك نيتريد الألومنيوم.

ثانيًا، يشكل طحن ELID طبقة أكسيد موحدة وكثيفة على سطح عجلة الطحن من خلال التحليل الكهربائي، والذي لا يحسن قدرة القطع لعجلة الطحن فحسب، بل يعزز أيضًا مقاومة التآكل لعجلة الطحن، مما يضمن استقرار واستمرارية عملية الطحن. في الوقت نفسه، من خلال التحكم الدقيق في تيار التصحيح، يمكن تحقيق الضبط الدقيق لسمك طبقة الأكسيد، ومن ثم يمكن تحسين تأثير الطحن، ويمكن تقليل خشونة السطح والأضرار تحت السطح، والمتطلبات القاسية يمكن تلبية سيراميك نيتريد الألومنيوم للأسطح فائقة النعومة.

بالإضافة إلى ذلك، تتميز تقنية الطحن ELID أيضًا بخصائص العملية البسيطة والتشغيل المرن، وهو أمر يسهل الترويج له وتطبيقه في الإنتاج الصناعي. من خلال التحسين المستمر لمعلمات الطحن وظروف العملية، يمكن تحسين كفاءة المعالجة وجودة المعالجة لسيراميك نيتريد الألومنيوم لتلبية الطلب المتزايد على المواد عالية الأداء في مجال تغليف الإلكترونيات الدقيقة.

باختصار، أظهرت عملية طحن ELID، بمزاياها الفريدة، إمكانات كبيرة في حل مشكلات المعالجة الناتجة عن الصلابة العالية والهشاشة العالية وصلابة الكسر المنخفضة لسيراميك نيتريد الألومنيوم. من خلال هذه التكنولوجيا، لا يمكن فقط تقليل عيوب السطح والأضرار تحت السطح بشكل فعال في عملية المعالجة، ولكن أيضًا تحسين كفاءة المعالجة وجودة المعالجة بشكل كبير، مما يضع أساسًا متينًا للتطبيق الواسع لسيراميك نيتريد الألومنيوم في مجال التغليف الالكتروني. في المستقبل، مع التطوير والتحسين المستمر لتكنولوجيا الطحن ELID، يُعتقد أن آفاق تطبيقها في مجال الآلات فائقة الدقة ستكون أوسع، وستساهم في التقدم المستمر لتكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة.